測(cè)振傳感器是由慣性質(zhì)量、阻尼和彈簧組成一個(gè)質(zhì)量彈簧系統(tǒng)，這個(gè)系統(tǒng)固定在振動(dòng)體上(即傳感器的外殼固定在振動(dòng)體上)、與振動(dòng)體一起振動(dòng);通過(guò)測(cè)量慣性質(zhì)量相對(duì)于傳感器外殼的運(yùn)動(dòng)，就可以得到振動(dòng)體的振動(dòng)。
(1)磁電式速度傳感器
磁電式速度傳感器是根據(jù)電磁感應(yīng)的原理制成的，磁鋼和殼體相連接、并通過(guò)殼體安裝在振動(dòng)體上，與振動(dòng)體一起振動(dòng);芯軸和線圈組成傳感器的系統(tǒng)質(zhì)量，通過(guò)彈簧片與殼體連接。振動(dòng)體振動(dòng)時(shí)，系統(tǒng)質(zhì)量與傳感器殼體之間發(fā)生相對(duì)位移，因此線圈與磁鋼之間也發(fā)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，根據(jù)電磁感應(yīng)定律，感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)正的大小為E=BLnv
式中B為線圈所在磁鋼間隙的磁感應(yīng)強(qiáng)度，L為每匝線圈的平均長(zhǎng)度，n為線圈匝數(shù)，v為線圈相對(duì)于磁鋼的運(yùn)動(dòng)速度、即系統(tǒng)質(zhì)量相對(duì)于傳感器殼體的運(yùn)動(dòng)速度。對(duì)于傳感器來(lái)說(shuō)BLn是常量，所以傳感器的電壓輸出(即感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)E)是與相對(duì)運(yùn)動(dòng)速度v成正比。
測(cè)振傳感器的質(zhì)量彈簧系統(tǒng)設(shè)計(jì)成轉(zhuǎn)動(dòng)的形式，因而可以獲得更低的儀器固有頻率。擺式傳感器可以測(cè)垂直方向或水平方向的振動(dòng);它也是磁電式傳感器，輸出電壓與相對(duì)運(yùn)動(dòng)速度成正比。
磁電式傳感器輸出的電壓信號(hào)一般比較微弱，需要用電壓放大器進(jìn)行放大。
(2)壓電式加速度傳感器
從物理學(xué)知道，一些晶體材料當(dāng)受到壓力并產(chǎn)生機(jī)械變形時(shí)，在其相應(yīng)的兩個(gè)表面上出現(xiàn)異號(hào)電荷，當(dāng)外力去掉后，晶體又重新回到不帶電的狀態(tài)，這種現(xiàn)象稱(chēng)為壓電效應(yīng)。
壓電式加速度傳感器是利用晶體的壓電效應(yīng)而制成的。壓電晶體片上是質(zhì)量塊，用硬彈簧將它們夾緊在基座上;質(zhì)量彈簧系統(tǒng)的彈簧剛度由硬彈簧的剛度和晶體片的剛度組成，剛度很大，質(zhì)量塊的質(zhì)量較小，因而質(zhì)量彈簧系統(tǒng)的固有頻率很高，可達(dá)數(shù)千赫茲，甚至可達(dá)100—200kHz。
當(dāng)
傳感器的固有頻率遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于所測(cè)振動(dòng)的頻率時(shí)，質(zhì)量塊相對(duì)于外殼的位移就反映所測(cè)振動(dòng)的加速度;質(zhì)量塊相對(duì)于外殼的位移乘上晶體的剛度就是作用在晶體上的動(dòng)壓力，這個(gè)動(dòng)壓力與壓電晶體兩個(gè)表面所產(chǎn)生的電荷量(或電壓)成正比，因此可以通過(guò)測(cè)量壓電晶體的電荷量來(lái)得到所測(cè)振動(dòng)的加速度。
壓電式加速度傳感器用的放大器有電壓放大器和電荷放大器兩種。
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